我校牵头的国家重点研发计划“复杂微结构三维光学显微测量仪”项目正式启动

哈工大全媒体（刘辰光/文）5月6日，由我校仪器学院刘俭教授担任项目负责人的国家重点研发计划基础科研条件与重大科学仪器设备研发专项“复杂微结构三维光学显微测量仪”项目启动暨实施方案咨询论证会召开。中国21世纪议程管理中心项目主管张望、工程师杜志勇，工业和信息化部科技司高技术处项目主管李瑾成，我校副校长曹喜滨等出席会议。

该项目于2021年11月通过“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项评审，今年5月正式启动。该项目由我校牵头，西安交通大学、中国计量科学研究院、中国工程物理研究院、中国科学院微电子研究所、昆明物理研究所等10家单位共同参与。该项目将在国际上率先发展能够兼顾表面和亚表面复杂微结构一体化测量的三维光学显微测量仪，实现在超光滑光学表面损伤、半导体集成电路、光电集成电路等领域的检测应用，为机理探索、工艺定型和量产质控提供超精密级测量仪器保障，提升国产高端显微仪器自主配套能力。

论证会上，刘俭教授代表项目组介绍了项目整体情况，围绕课题设立背景与研究内容、任务分解、预期成果、组织保障等内容进行了汇报。课题及关键技术负责人分别就所承担的课题任务，从课题背景、实施方案和技术路线等方面作了汇报。与会专家对项目技术方案与实施计划等给予肯定，同时就项目及课题的关键问题进行了论证讨论，并提出了建设性意见。

我校科工院等相关单位负责人及项目组相关人员参加会议。